晶圆切割是半导体行业重要工业流程,晶圆切割需要使用切割胶带作为辅助材料,晶圆切割胶带是制造半导体芯片最重要的基本材料,其最主要的原料为切割研磨胶带。晶圆切割片直径越大,其所能刻制的集成电路则越多,芯片的成本也随之降低。
切割大尺寸晶圆对技术的要求很高,良品率极低,要求晶圆切割胶带技术极高,目前国内生产的晶圆以6英寸(150mm)为主,产品主要应用领域仍然是光伏和低端分立器件制造,8英寸200mm和12英寸300mm的大尺寸集成电路级晶圆依然严重依赖进口。集成电路用晶圆是制造技术门槛极高的尖端高科技产品,全球只有大约几家企业能够制造。
晶圆切割胶带是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,其成本约占整个芯片制造工艺的10%,耗费时间约占整个芯片制造工艺的40%-60%,是半导体制造中最核心的工艺。晶圆切割胶带主要集中于技术含量相对较低的PCB领域。6英寸晶圆的g/i线光刻胶的自给率约为20%,8英寸晶圆的KrF光刻胶的自给率不足5%,12寸晶圆的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。